新方法!晶圓級Micro LED快速轉(zhuǎn)移還可以這樣實現(xiàn)
來源：LEDinside 編輯：lsy631994092 2020-09-11 09:10:26 加入收藏 咨詢
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在突破Micro LED瓶頸技術(shù)的路上，全球范圍內(nèi)的研究者從未止步。
據(jù)報道，由廣東省半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院、日本東京大學和佛山市德寶顯示科技有限公司組成的研究團隊開展了題為《轉(zhuǎn)移至膠膜上的平面和曲面顯示屏用晶圓級Micro LED》(Wafer-Scale Micro-LEDs Transferred onto an Adhesive Film for Planar and Flexible Displays)的研究。
最近，該研究已發(fā)表在《先進材料技術(shù)》(Advanced Materials Technologies)期刊上，展示了一項結(jié)合膠帶和激光剝離工藝的新型轉(zhuǎn)移技術(shù)。
在此研究中，研究者描述了名為“膠帶輔助激光轉(zhuǎn)移”(TALT)的系統(tǒng)解決方案，使用低成本的膠帶作為支撐襯底，利用激光剝離工藝將Micro LED轉(zhuǎn)移至膠帶上，然后再將放置另一片膠帶。由于膠帶極強的粘合力，Micro LED能夠從第一片膠帶轉(zhuǎn)移至另一片膠帶上進行倒裝接合。
圖片來源：Pan et al. 2020
據(jù)研究者介紹，這個方法能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓級Micro LED的快速轉(zhuǎn)移，良率高且可以最大程度地減少位移現(xiàn)象。同時，通過激光剝離工藝，能夠有選擇性地將Micro LED轉(zhuǎn)移至膠帶上。
基于上述技術(shù)制備的柔性Micro LED顯示原型器件
研究者表示，這項技術(shù)不僅適用于晶圓級Micro LED轉(zhuǎn)移，也適用于倒裝接合。他們認為此技術(shù)在開發(fā)用于AR/VR智能眼鏡的曲面或平面Micro LED顯示面板方面有巨大的潛力。
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